铟化合物是一种科技关键原材料，主要用于制作ITO靶材以及半导体材料。功能材料所结合地域特色和自身优势，瞄准电子工业半导体、显示屏领域对铟化合物系列产品的需求，开展关键核心技术攻关，目前形成了部分铟化合物系列产品：

（1）高纯无水三氯化铟

高纯无水三氯化铟是制备其他无机和有机铟化合物原料，如TMI（三甲基铟）和酞菁氯化铟，分别用于合成发光器件外延结构的基底层物质Ⅲ族氮化物以及太阳能电池的电极材料。功能材料所采用逐级取代法在低温条件下开发无水三氯化铟4N、5N以及6N系列产品，可满足荧光粉、Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体、ITO透明电池等不同行业的需求。

（2）高纯纳米三氧化二铟

功能材料所开发出新型煅烧工艺制备平均粒径20～30 nm的球形纳米氧化铟4N、5N系列产品，可满足于n型宽禁半导体、荧光屏、金属反射镜面的保护涂层、光电显示半导体薄膜、ITO靶材等领域的原料需求。

（3）ITO粉体及靶材

功能材料所采用于自有技术开发出单分散、结晶性好，粒径在20nm左右的高烧结性氧化铟锡（ITO）粉体以及微结构均匀、无缺陷的靶材素胚，经特殊烧结工艺获得构成分别为3、5、7、10%-SnO₂的高密度靶材，纯度达99.99%，可确保成膜减少结节以及异常放电现象，可用于平板显示器以及触控屏。

图1：反应设备

图2：铟系列化合物产品